利用硅的压电电阻效应的压力计

绪言: 众所周知,在晶体上施加外力时,其电导率变化的性质为压电电阻效应。在实用方面,其有用的特性大体上都可以从金钢石或者闪锌矿结构的半导体中看到。这种效应依赖于外力,使其传导频带或价电子波段的能量状态发生变化,其结果可以作为载流子的分布和迁移率的变化来给予解释。另外,对显像论而言,在应力的小范围內,电阻系数变化率△q/q与应力可以用比例关系表达,其比例常数π称为压电电阻系数。