高灵敏度微型空气静压支承方导轨的制造技术

分析了超精密一维测量头对导轨的灵敏度要求，论述了高灵敏度小型空气静压方导轨的制造方法。采用该方法制造出来的导轨可将导轨的摩擦力控制在5mg以内，导轨的直线性控制在1μm／10mm内，这使得超精密一维测量头实现0．05μm的重复测量精度成为可能。