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1.
复合靶磁控溅射离子镀膜技术
毛德才
张秀娥
《航天制造技术》
2000,(1):5-8
从理论上、实践上比较了多种镀膜技术 ,确认了在铁氧体移相器单元表面镀膜最好且实用的技术是复合靶、磁控溅射离子镀技术 ,并进一步阐述、分析了优质镀层获得的基本规律
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