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大量程纳米分辨率超精密测径仪 总被引:3,自引:0,他引:3
提出了一种新型可以测量孔和轴直径的超精密测量仪,该超精密测径仪主要由炫耀光栅和气浮导轨及红宝石探头组成,采用接触式绝对测量方法。介绍了环境温度的控制和减小环境振动的手段,以保证测量的精度和重复性。这种新型测径系统分辨率可以达到1nm,量程范围可达 0~100mm。 相似文献
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超精密偶件测量仪的误差运动综合数学模型 总被引:1,自引:0,他引:1
把超精密测量机床误差元素分为几何运动误差和热变形、接触变形等非刚体效应误差,利用齐次坐标变换方法结合测头与工件之间联结链的封闭特性,给出了超精密偶件测量仪几何和热误差以及探头和工件接触变形误差的综合数学模型. 相似文献
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分布式光纤传感器的现状及发展趋势 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了目前分布式光纤传感器的主要研究方法和技术动向,并展望了其发展趋势。 相似文献
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本文报导了一个主要用于增强材料——纤维直径测量的激光检测系统。该系统采用微机控制的步进计数测长装置测量纤维的衍射条纹尺寸,并通过极值探测的仿真处理,修正了高达被测值(3~5.67)%的原理误差,从而实现了纤径的高精度、智能化的自动测量。本文介绍了该系统的测量原理,描述了检测系统的构成并给出了极值探测仿真的方法。 相似文献
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分析了用夫朗荷费衍射测量微小尺寸的原理误差,包括夫朗荷费近似误差和极值特征点位置探测误差。以狭缝为例,利用计算机仿真技术对该两项系统误差进行了修正。 相似文献
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针对峰值法中测量路径规划问题,提出了基于参数模型学习的神经网络预测器。通过预测器对测量路径的优化,测量系统的柱边特征点检出效率提高了近十倍以上。 相似文献