凹半球形轨道分子屏分子流场理论计算

借助一个封闭的球形理论模型,对稳态非均匀分子流环境下的凹半球形轨道分子屏进行研究,计算了试验区分子数密度分布情况,讨论了主要影响因素,结果显示,利用凹半球形轨道分子屏可获得１０＾８分子数／ｍ＾３（等效于１０＾－１２Ｐａ）的极高真空,分子屏出气对试验区分子数密度的贡献是主要的,分子屏粘附系数增大不能有效改善空载情况分子屏试验区的真空度。