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静电悬浮位置控制技术是静电悬浮材料实验装置中的关键技术. 以静电悬浮位置控制系统为研究对象, 分析了稳定悬浮样品的基本条件, 并以两组不同波段正交平行光作为光源, 位置测量传感器(PSD)作为位置信号接收器来组成样品的三维位置测量装置. 将PSD的位置输出信号作为输入、模拟电压信号作为输出构建PID位置反馈控制系统, 再利用PID反馈控制系统的输出来驱动高压放大器, 从而按照样品的实时位置变化调整电场强度. 通过选择合理的PID参数, 最终很好地实现了静电悬浮系统中样品位置的稳定控制.   相似文献   
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