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介绍一种以线性调频半导体激光为光源的衍射光栅干涉仪。激光与光栅上衍射的±1级衍射波会合,由于有光程差而发生光拍频,测量拍频信号的相位移则可测得光栅的位移。设计了一种克服激光波长漂移和空气折射率变化影响的对称差动光路,使这种方法达到实用化的程度,分辨力达到纳米级。此外,还介绍了应用于接触干涉仪的实验情况。 相似文献
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激光偏振干涉相位细分精度及其应用 总被引:2,自引:0,他引:2
本文对一种偏振干涉光路及相位细分方法通过分析计算和实验进行了研究。指出了影响精度的因素,误差规律及改善的途径。对这种方法应用于测量空气折射率和小角度做了简要介绍。 相似文献
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