微位移动态测量干涉仪智能系统

本文介绍了微位移动态测量干涉仪的计算机数据采集、处理系统以及4(1/2)位表头的改进和独特的输入接口。由于采用了先进的计算机技术,提高了干涉仪的精度,使其测量重复性3σ<0.002μm,并可根据用户需要,选用不同的采样间隔和测量范围,最后自动打印出被测试的电感式、电容式测微仪的非线性。     

坐标测量机的标准和检验

由于坐标测量机在计量和生产中的重要地位，它的准确度必须得到保障。国际标准ＩＳＯ１０３６０－２即将被我国等效采用为国家标准。根据该标准，讨论了坐标机检验和准确度保证的方法。