扫描辐射计内光路反射镜中SiO2／Ag薄膜系统的失效分析

SiO_2/Ag薄膜系统是扫描辐射计内光路反射镜的主要组成部分。采用高分辨扫描俄歇微探针(SAM)和扫描电镜分析对SiO_2/Ag 薄膜系统失效进行了较为全面的分析研究。通过扫描电镜观察发现,失效的反射镜表面SiO_2薄膜上存在大量析出物,借助于SAM分析,表明这些析出物主要是银和铜,析出物表面伴随有硫化和氧化。SAM的深度剖面结果说明,有析出物存在的区域,各薄膜层中存在原子间的扩散。文章就反射镜中Ag、Cu、和O的扩散和穿透行为进行了讨论,认为SiO_2薄膜致密度较差是导致反射镜失效的主要原因之一。     

一种高灵敏度无水肼气体传感器

采用Ｌａｎｇｍｕｉｒ－Ｂｌｏｔｇｅｔ（ＬＢ）技术在Ａｌ平面电极上沉积制备了一种有机络合物ＬＢ膜。测试结果说明,这种敏感膜对无水肼（Ｎ２Ｈ４）气体在室温环境下具有很高的探测灵敏度：对无水肼在空气中的探测极限优于５×１０－７,其响应时间和恢复时间均不大于１０ｓ。这种高灵敏度敏感薄膜可用于制备便携式Ｎ２Ｈ４气体监测装置。     

砷化镓功率场效应管早期烧毁的失效分析

采用扫描俄歇微探针、扫描电子显微镜、电子探针微区分析仪和Ｘ射线透射仪等多种分析手段分析了一种Ｃ波段砷化镓功率场效应管早期烧毁失效的现象。初步建立了烧毁失效的模式,给出了相应的失效频数分布及其表面形貌状态。分析结果指出,烧毁失效模式中源一漏烧毁占较大的比例;其次是由于材料及器件制备工艺过程不完善而引起的空气桥烧毁,热斑烧毁,源或漏极条边缘毛刺、芯片表面缺陷、沾污和不可动多余物引起的烧毁失效。文章就烧毁失效的机理进行了分析和讨论。     

高能离子辐照下薄膜界面化学结合增强的模型

近年来高能离子辐照引起的薄膜附着力增强现象及其应用受到了广泛的重视。由于高能离子一固体相互作用的复杂性,目前对附着力增强的物理机制的认识还不清楚。文章基于高能离子辐照引起界面原子化学结合键增强的思想,建立了薄膜附着力增强的理论模型,并由此得到辐照离子阈剂量与离子能量损失(电子阻止能力)及其界面原子结合键能的分析表达式,计算结果与实验结果很好吻合。理论分析表达式说明,膜附着力增强的阈剂量受界面原子结构、元素种类、电子阻止能力及其形成固体径迹所损失的能量等多种因素有关。     

碲镉汞红外材料与器件的空间应用

碲镉汞（ＭＣＴ）是一种十分重要的红外半导体材料，近十几年来，由于国防工业和遥感技术发展的需要，碲镉汞红外探测器的独特性能获得了迅速的发展和广泛的应用。简要讨论了碲镉汞红外器件和材料的发展和进展情况；论述了碲镉汞红外器件在空间的应用，主要包括卫星侦察、目标跟踪、地球资源勘探、环境监测和防护、气象预报、宇宙空间观察等；此外还讨论了空间技术发展和遥感技术发展对碲镉汞红外探测器和材料提出的一些新的要求，提出了相应的建议和对策。