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介绍了近年来微纳力值测试技术的发展现状.微纳力值测量方法、测量及研究成果,并进行了不同测试方法的对比,指出了不同测试方法的特点和适用性.基于当前微纳测量领域发展趋势,结合行业发展需求,提出了微纳力值测试技术研究应注意的问题.  相似文献   
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