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静电驱动是实现微米光栅加速度计小型化和闭环力反馈控制的关键, 其引
入的静电刚度对加速度计灵敏度有着重要影响。对基于静电刚度的微米光栅加速度计灵
敏度特性进行分析。首先, 建立了基于静电刚度的微米光栅加速度计灵敏度模型。其
次,通过MATLBA 仿真,得到静电驱动电压与传感器灵敏度的理论关系。最后,对理论
分析结果进行了实验验证,结果表明静电刚度可以改善系统刚度,静电电压从1.25V 到
2.05V 等间隔变化时, 加速度计的灵敏度由871mV/g 变化为1148mV/g, 分别相对于未加
电时的灵敏度783mV/g 提高了0.46dB 到1.66dB,提高了微米光栅加速度计的灵敏度。本
文研究内容对集成式闭环微米光栅加速度计的研究提供参考。 相似文献
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<正>天基侦察监视系统是美军应用最广泛的天基信息支援系统。美国天基侦察监视系统已形成涵盖导弹预警和杀伤评估、目标侦察监视、战场气象信息监测等在内的复杂系统,其理论水平、技术能力和作战运用处于世界领先水平。美军分别成立跨机构联合太空作战中心和太空作战联合指挥部,并陆续将各军种中负责卫星相关太空作战能力的部门纳入太空军行列,旨在强化各军种/部门间天基侦察监视信息共享与协同作战,满足未来多维化、信息化、一体化联合作战需求。截至2022年6月,美国新发射2颗神秘间谍卫星NROL-87和NROL-85,推测可能分别是新一代“锁眼”(Key Hole)侦察监视卫星和新一代海洋监视卫星, 相似文献
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