测量表面粗糙度参数的反散射计算研究

用光的角散射分布技术测量工件表面的粗糙度参数是近几年来发展起来的新的测量技术。它具有分辨力高、非接触、区域平均和快速测量等优点,可获得多个表面粗糙度参数。采用该技术测量的实验装置角分辨力为0.1°,测量范围为0.6328μm<λ_s(空间平均波长)<40μm,0.0001<△_a(轮廓的算术平均斜率)<0.0088,2nm相似文献