圆度仪的数字化测量

介绍了对圆度仪的数字化改造方法。讨论了测量数据的数字化处理的方法及利用单纯形法对测量对象圆度进行评定，给出了实际的测量结果。     

光干涉技术在纳米精度测量中的应用及发展

分析了几种应用于纳米精度测量的光干涉技术工作原理、应用限制及研究现状,包括X射线干涉仪、干涉仪及激光外差干涉技术。     

进口圆度仪智能化改造

以Talyrond73型圆度仪为例，介绍了圆度仪智能化改造的基本原理，圆度测量软件的主要功能以及回度误差评定方法的优化，探讨了保证检测精度的若干措施，并给出了检定结果。     

现代精密测量技术现状及发展

概述了工业生产与科学研究中的现代精密测量技术发展现状和研究内容;着重叙述了应用于三坐标测量机（ＣＭＭ）的最新技术、微／纳米精密测量技术以及图像测量技术。     

相位偏移干涉测量中移相误差补偿技术研究

 在相位偏移干涉测量技术中,一阶线性和二阶非线性移相误差是产生相位检测误差的主要因素。在研究移相误差对相位偏移干涉法测量精度影响的基础上,提出五步移相算法一阶线性和二阶非线性移相误差补偿技术。该方法从相位偏移干涉图中拟和出移相过程中存在的移相误差,对五幅算法结果进行误差修正。试验证明移相器存在 10%一阶线性误差和 1 %二阶非线性误差时,五幅算法相位检测误差为 0.12弧度;采用该补偿方法可以将相位测量精度减少到 0.02弧度,相当于采用氦氖激光器的倍程干涉仪中位移测量精度从 6.0 nm提高到 1 nm。     

用随机分析方法研究电加工表面形貌

通过对电加工零件表面在互为４５°的４个方向截面上测量Ｒａ值，运用随机分析方法，分别求出每个零件表面４个方向上的幅度密度函数、自相关函数和功率谱密度函数，并分析这些函数图形，对电加工表面形貌进行了研究。