莫尔条纹技术应用于掩模－硅片的自动对准

简要回顾了莫尔条纹技术在光刻机的掩模－硅片对准系统中的应用，介绍了国际上该项技术的应用现状，分析了其优势和局限性，对今后的发展方向作了简要的概括．     

激光扫平仪的误差分析、测试和分离

介绍了一种激光扫平仪的自检方法,不仅可以检测出综合误差,并可同时分离出几项主要的系统误差,为激光扫平仪的检测争校准提供了可靠的依据。文中对激光扫平仪的误差来源作了详细的分析,并给出了实验结果。