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金属基高功率CO2激光沉积超硬Si3N4膜层性能研究 总被引:1,自引:0,他引:1
郭良 《中国民航学院学报》1995,13(4):79-84
本文采用高功率CO2激光在金属基材汽相沉积出厚度-30μm标准化学计量配比、平均硬度达2200HK的a-Si3N4膜层,与基材有良好的结合界面,实验分析表明所沉积膜具有超硬和良好的耐磨抗蚀等性能。 相似文献
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