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介绍了把Ф300 mm口径平面等厚干涉仪改造为移相式数字平面干涉仪的基本情况。改造后的仪器采用液面基准的系统误差校准方法,在Ф300 mm口径时的最大允许误差为76 nm(PV值),测量重复性为4 nm,满足相关使用要求。  相似文献   
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高超声速飞行器面临严苛的气动热载荷,不仅给机体结构的设计带来了困难,也为舱室的综合防热设计提出了挑战,高超声速飞行器的热防护设计与舱室热管理系统的设计高度耦合,需要采取一体化的手段进行分析和设计。从高超声速飞行器内-外热耦合的传热过程出发,建立了耦合分析舱室综合防热问题的数学模型。并结合设定的舱室和飞行任务曲线进行了仿真优化计算。结果表明,采用热防护和热管理耦合的分析方法,有助于综合选取最优的隔热层厚度和液氮冷却控制策略,使舱室热问题的综合代偿达到最优。该方法能够用于快速开展舱室热问题的综合参数优化,可以满足概念方案设计阶段开展热防护和热管理综合分析的需要。  相似文献   
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