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由于加工工艺和测试环境的限制,基于MEMS工艺制备的微陀螺仪存在寄生馈通电容,严重干扰信号的检测。而常用的馈通取消方法依赖于微陀螺仪和电路的对称性,难以有效地消除馈通信号。针对以上问题,通过建立包含馈通电容的RLC等效电路模型,分析馈通效应的影响,提出一种结合双边反相取消结构的全差分馈通取消电路,利用反相取消结构调节由差分电路的不对称性所引起的馈通误差,该方法可以在提高驱动力的同时有效消除馈通信号。以方形质量块微振动陀螺仪为研究对象,测试采用该方法取消馈通后的检测信号信噪比(SNR)为25.57dB,相比馈通取消前信噪比提高了13.32倍。测试结果表明该方案能有效地补偿馈通电流并提高微陀螺仪的信号检测性能。 相似文献
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微半球陀螺相比于传统的机械陀螺具有更小的尺寸,因此其对温度、湿度、磁场等外界环境的变化更为敏感。为了保证陀螺具有较好的工作表现,需要使外部驱动信号的频率严格锁定于工作模态的中心频率上,且陀螺输出信号幅值恒定。与此同时,由于微半球陀螺信号为微弱信号,故而需要采用微弱信号采集技术及反馈技术对其进行处理,并且通过解调控制算法得到输出信号。阐述了微半球陀螺基本测控电路的国内外发展现状,并从Sigma-delta、模态匹配、正交补偿、温度补偿等角度分析了微半球陀螺测控电路的关键技术。 相似文献
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