微镜单元的设计与加工工艺研究

详细介绍了微光学电子机械系统MOEMS领域的用于光学信号调制的微镜单元，分析了该微镜单元的工作原理及结构，推导了动态方程的有关参数，给出了仿真结果。首次提出了该结构前两阶频率的表达式，并与相应的有限元模态分析结果进行了比较。本文还对微镜的加工工艺作了简要介绍。     

一种新型古典抛光工艺的技术研究

对抛光模的制作、抛光粉的添加、加压的方式以及抛光后的清洗这一整套生产流程中所涉及的核心技术进行了部分改进和详细介绍,并最终给出了古典法抛光后的玻璃表面利用AFM检测后的表面形貌图,表面的粗糙度、划痕等微观缺陷明显改善。