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精密可控微位移器实验研究 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了微位移器的静、动态特性,实验结果表明:IP1型微位移器线性度可达0.12%,重复精度为0.01μm。还比较了IP1型和ELS1型微位移器的性能区别供应用选择时参考. 相似文献
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压电陶瓷微位移器的实验研究 总被引:12,自引:1,他引:12
介绍了压电陶瓷微位移器的动、静态特性及其测量方法和实际测量系统。实验研究了逆压电效应型和电致伸缩型两种压电材料所构成的微位移器的性能。逆压电效应型微位移器位移线性度为0. 11%,重复精度±0. 01μm,电压-位移灵敏度约为1μm/100V。在200Hz频段内,幅频特性平直,相频曲线呈线性,相位滞后量小于25°;电致伸缩型微位移器的电压-位移呈非线性,所以位移量较大,对应电压500V时,位移约为12μm。微位移功能逆压电效应型适用于线性度要求较高的精密控制场合;而电致伸缩型则更适用于行程较大的控制情况。 相似文献
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