晶振式非接触表面轮廓传感器的动态特性

从理论上对线性伸展模式的石英振子的动态特性进行了分析，讨论了在近场效应作用下，影响晶振品质因数的各种阻尼，并将所获得的解析模型与实验结果进行了比较。