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基于超精密应用的高刚度高阻尼空气静压导轨研究 总被引:4,自引:0,他引:4
介绍了一种采用多孔质节流的新型空气静压导轨,其刚度可以达到400N/μm或者更高,具有这种刚度的空气静压导轨可以取代液体静压导轨,广泛应用于超精密机床中. 相似文献
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