光纤外差干涉位移传感器

非接触式光纤外差干涉位移传感器是将半导体激光器线性调频技术和光纤传感技术相结合制成的1种新型外差干涉仪。它的位移测量范围可达26mm，分辨率为0．02μm；对不同材料、不同粗糙度的对象面，有着几乎相同的测量灵敏度和测量精度；探头和对象面无需严格垂直。     

调频光外差光纤位移传感器响应速度的研究

对调频光外差光纤位移传感器的动态响应速度进行了理论分析和实验论证。实验结果表明：调频光外差光纤位移传感器响应速度的提高，可通过增大调制频率和利用拍频信号的高次谐波成分来实现。