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美国的马托克斯在一九六三年发明了离子镀技术,到了七十年代发展极为迅速,它是真空蒸发与真空溅射相结合的新工艺,兼有两者优点(即真空蒸发的沉积速率快和真空溅射的离子清洗),具有镀层粘着性强、质量好和高可靠性等许多优点。它解决了电镀层结合力和均匀性不够的缺点和电镀污染问题,也解决了真空蒸发附着力和复盖力差、真空溅射沉积速  相似文献   
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