在线加工用高精度二维微小角度传感器的设计

提出了一种基于内反射效应的二维微小角度传感器的设计方法。该传感器采用光学差动法,通过检测光强实现了对二维方向上微小角度的测量。研制的角度传感器俯仰角和偏转角的测量范围为±500arcsec;具有优于0.1arcsec的分辨力。