基于超精密应用的高刚度高阻尼空气静压导轨研究

介绍了一种采用多孔质节流的新型空气静压导轨,其刚度可以达到400N/μm或者更高,具有这种刚度的空气静压导轨可以取代液体静压导轨,广泛应用于超精密机床中.     

强光光学零件加工误差频谱分析与控制方法研究

本文利用功率谱密度分析磁流变抛光表面的敏感频率误差,发现走刀步距与中高频误差具有直接的关联性,通过小波算法确定其分布区域后,采用大束径的光顺抛光法对敏感频率误差进行控制,测试结果表明中高频误差得到了有效控制。本研究对强光光学零件加工误差的频谱分析、表征和控制具有指导意义。     

强光光学零件磁流变抛光误差的频谱特征 与演变研究

通过分析磁流变抛光的材料去除特征、误差功率谱密度的定量计算方法、敏感频率误差的演变规律,探索误差频谱与去除函数、走刀方式、走刀步距等加工参数的对应关系,为工艺过程的合理控制提供指导。典型强光光学零件磁流变抛光的实验结果表明,通过优化工艺参数,能够大幅修正低频误差、控制中高频误差,保证0.03～8.3mm-1频段误差全部满足NIF评价指标要求。     

用于精细微结构加工的快速刀具伺服系统设计

通过分析不同类型精细微结构的特点,设计了满足加工要求的快速刀具伺服系统,给出了不同形式柔性铰链刀架刚度的适用公式,并通过正交试验法对敏感结构参数进行了优化.实验结果表明,研制的快速刀具伺服系统刚度为328N/μm,固有频率大于3kHz,最大输出位移为38.1μm,能够实现精细微结构的高效高精度加工.     

光学镜面磁流变抛光误差的频谱特征与分布特性研究

通过分析磁流变抛光误差的频谱特征,发现严重影响成像质量的敏感频率成分误差,采用二维连续小波变换算法确定出敏感频率误差的具体分布区域,分析其演变特征及其与工艺参数之间的关系,为修正加工提供指导,以实现精确控制不同频率成分、不同分布区域光学加工误差和改善成像质量的目的.     

复杂型面微小零件精密切削工艺研究

在自研的微小零件精密加工机床上,通过分析复杂型面造型技术、刀具路径规划方法和切削用量优化选择,开展了金属材料复杂形面微小零件的精密切削工艺研究,加工出了硬铝材料制作、典型的高精度复杂形面微小零件样件。     

确定性球形抛光工具的加工特点和去除能力研究

研究了一种可控制边缘效应的球形磨头抛光技术,针对其特有的运动形式,采用理论分析和实验验证相结合的方法建立了其去除函数模型,给出了在不同的自转、公转条件下的去除函数表现形式,发现自、公转速度比大于1/10时,公转速度对去除函数的影响很小,且去除函数形状近似高斯分布,易于修形.     

微位移机构研究

微位移机构在精密机械和精密仪器中应用广泛,种类很多.本文对这些机构的结构、原理、特点和应用进行了分析与比较,并阐述了该类机构的发展趋势.     

基于球形磨头抛光技术的SiC抛物面镜抛光

针对用CCOS小工具研抛技术抛光材质较硬以及陡度较高的SiC非球面镜时,面形误差收敛太慢,研究了一种新型的球形磨头抛光技术,其去除函数稳定性较好,形状趋于高斯分布且束径也较小,对修正局部面形误差具有较好的效果.为了使该技术能应用于抛光,对球头抛光工具进行了刀具补偿.     

精密旋转设备静、动平衡量测试方法研究

对精密旋转设备的静、动平衡原理进行了深入分析,提出了相应的测量方法;为了减小对主轴回转精度的影响,进行了双校正面的动平衡系统设计和整机的静平衡系统设计,其结论对各类精密旋转设备总体结构和主轴系统设计具有指导意义。