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分析微细超声加工机理;通过微细组合电加工技术制作多种截面形状的微细工具头;以此为基础进行多种硬脆材料的微结构超声加工试验及导电材料的超声电解复合加工试验.通过试验结果分析,得到微结构超声加工工艺特性.  相似文献   
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