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1.
满足一等量块检定要求的接触式激光量块干涉仪
赵静
王承钢
杨自本
汪德宝
牛立新
崔岩梅
《航空计测技术》
2002,22(5):20-24
最新研制的接触式激光量块干涉仪主要用于测量一、二等量块的中心长度,其长度测量不确定度达到(0.02 0.2L)μm。文中介绍了其工作原理、测量不确定度分析,给出了量块测量的验证数据。
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