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1.
基于微电铸工艺的摩擦接触式微型惯性开关
杜立群
杨晓臣
于洋
王胜羿
刘蓬勃
赵剑
《航空制造技术》
2021,64(6):66-72,81
针对微型惯性开关闭合时间短、接触弹跳问题,设计了增强接触效果的摩擦接触式微型惯性开关.基于MEMS惯性开关工作原理,建立了开关物理模型,研究了不同类型惯性开关的闭合性能,提出了增强接触的摩擦接触方法,设计了摩擦接触式微型惯性开关的结构.为了对比接触性能,基于UV–LIGA叠层光刻和精密微电铸工艺,研制了3种不同类型的惯...
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