小孔检测方法的研究

研究了一种检测小孔的机械式测头,将细测杆视为弹性体,将膜片做为三维敏感元件,通过弹性位移传递原理自动补偿了测杆的受力变形误差。安装在测量机上可以检测Φ０３ｍｍ以上小孔任意截面的尺寸和形状误差,精度优于１μｍ。