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1.
基于隧道效应的纳米级轮廓仪
李文菊
张鸿海
师汉民
陈日耀
《航空精密制造技术》
1995,(4)
介绍了一种利用量子力学中隧道效应原理工作的纳米级轮廓仪.它可对直径为130mm的光盘、磁盘等较大工件表面直接进行测量,扫描范围为1×1~140×140μm2,X,Y方向扫描步长为1~800nm可调,横向分辨率达几个纳米,纵向分辨率优于1nm.利用该装置已测得精密光栅、精磨祥块、金刚石镜面车削等表面的纳米级形貌.
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