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1.
圆盘多环内双梁谐振陀螺的结构设计和制备方法
李志伟
张卫平
谷留涛
刘朝阳
朱甲强
《导航与控制》
2021,20(3):81-85,65
多环陀螺由于其对称性好、机械性能优异、能耗低、效率高等特点成为MEMS陀螺领域高性能惯性器件的代表.基于MEMS多环陀螺的发展现状,针对现有多环陀螺结构刚度较大、灵敏度较低的现状,提出了一种新型的圆盘多环内双梁孤立圆环谐振陀螺,通过内双梁的柔性降低了结构刚度,提高了谐振器的灵敏度.对多环谐振陀螺的主要结构进行了详细设计...
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