聚乙烯醇光刻胶的研制

本文对聚乙烯醇感光胶的感光性能进行了理论分析,在此基础上,探讨了将其用于光刻工艺的有关问题,叙述了添加各种添加剂后此胶的性能和应用范围,研究结果已用于生产过程,性能优于现用光刻胶,具有较好的经济效果。     

高精度圆光栅的复制

随着精密测量、自动定位、跟踪系统等技术的飞跃发展,计量光栅得到日益广泛的应用,因此需要提供大批量高精度光栅元件。原用机械刻划的方法刻一块φ300,线条数为32400的盘子,需要30多个小时,若加上调刀、试刀等辅助时间,(倘若一次能调好)