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稀释气体流量对低压化学气相沉积硼掺碳涂层的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
以BCl3-C3H6-H2为气相反应体系,采用低压化学气相沉积制备硼掺碳涂层.研究了Ar气稀释流量对硼掺碳涂层沉积速度、形貌、组成和键合状态的影响.结果表明,不同稀释气体流量作用下,硼掺碳的沉积速度没有明显变化,产物形貌由致密向层状转变,硼元素含量稍有减少而碳元素含量稍有增加.沉积产物中B元素的键合方式以B-sub-C和BC2O为主.结合化学反应和气体扩散,探讨了稀释气体的作用机制,表明PyC形成反应的主导作用导致稀释气体流量对沉积速度作用不明显,而BCl3和C3H6在Ar气中扩散系数的差异导致产物形貌和组成发生变化. 相似文献
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张伟华 《长沙航空职业技术学院学报》2002,2(3):24-27
社区体育是实现全民健身计划的载体,高校体育是积极推行全民健身的主要实施者。本文针对目前社区体育和高校体育的现状,采用文献资料、问卷调查等研究方法,以高校体育在社区体育的作用与地位为出发点,积极倡导高校体育改革。认为只有挖掘高校体育的潜能,通过对社区体育发挥其自身应有的作用,才能完成学校体育到社会体育的过渡,才能真正服务于社会。 相似文献
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