基于隧道效应的纳米级轮廓仪

介绍了一种利用量子力学中隧道效应原理工作的纳米级轮廓仪．它可对直径为１３０ｍｍ的光盘、磁盘等较大工件表面直接进行测量，扫描范围为１×１～１４０×１４０μｍ２，Ｘ，Ｙ方向扫描步长为１～８００ｎｍ可调，横向分辨率达几个纳米，纵向分辨率优于１ｎｍ．利用该装置已测得精密光栅、精磨祥块、金刚石镜面车削等表面的纳米级形貌．     

激光寻距器作可见物体测量

提出一种能从一幅图象中测出物体三维信息的激光寻距器,介绍了它的结构,并据此讨论了从二维图象到三维图象的变换算法和从表面到物体的识别方法。激光寻距器用于引导机器人焊接,证明可见物体的测量是成功的。     

智能式砂轮在线自动平衡仪

介绍了一种高精度智能式砂轮在线自动平衡仪，它由振动检测装置，砂轮平衡器和一个８０３１单片机用户系统组成．通过磨削试验，该平衡仪具有模仿人工操作进行控制的功能，有效地减轻了振动，提高了磨削加工质量．     

精密工程中应用的宽范围原子力显微镜的研究

描述了一种用于精密工程中超精密测量的宽范围原子力显微镜．用管状扫描器工作时，测量范围可达２μｍ×２μｍ，能获得原子级的分辨率．当用新开发的定范围工作台扫描时，测量范围可为１４０μｍ×１４０μｍ；分辨率可在１～１００ｎｍ之间调节．