高精度圆光栅检查仪的研制

本文论述了影响圆光栅检查仪测量准确度的诸种因素,指出提高仪器测量准确度的根本途径,提出一种新型油润滑球体结构主轴系,介绍了利用圆光栅作基准、运用多头平均法获得高精度基准器的具体方法。     

激光比长仪的研制

本文简要介绍激光比长仪的工作原理及其結构,对仪器精度进行了分析,给出了比对和检定结果,并对激光比长仪设计过程中经常遇到的几个重要问题提出了新观点。     

超精密低速油润滑滑动轴承主轴系

本文论述了超精密低速油润滑滑动轴承主轴系的结构及工作原理,进行了理论分析,提出了提高主轴回转精度的具体方法。本主轴系在低速旋转时,主轴最大径向误差不超过0.027微米(为与最小二乘圆偏差的峰峰值),主轴随机误差σ为0.0042微米,它具有承载能力大和长期使用勿需注油的特点。