一种基于刀口测头的内尺寸测量方法研究

随着精密机械加工复杂化程度的提高,传统量块组合填塞法或影像法测量各种柱面内尺寸已不能满足精密测量技术发展的需要,它们或对人员素质要求较高,或只能反映局部特征。本文介绍了一种基于刀口(楔形)测头的内尺寸测量方法,通过改进万能测长仪的内测钩,设计专用刀口平面组合测头,利用内外测头结合标定的方法,采用量块比较测量法实现了对柱面内尺寸的测量。并以花键环规为例,分析了测量结果的测量不确定度,通过En值的计算,证明了该方法的有效性和可靠性。     

白光干涉三维形貌快速测量算法

针对航空科学技术产业中超精密加工对微纳米尺度的测试要求,本文提出一种白光干涉三维形貌快速测量算法.该算法通过将移相扫描精相位与垂直扫描粗相位融合,得到待测样品的三维形貌测量结果,并采用二维离散差分算法判断并消除待测样品在阶跃形貌的边缘处产生的蝙蝠翼误差,得到高精度的三维形貌测量结果,试验证明该算法纵向分辨率可达亚纳米精...