两米光栅—线纹自动测量仪测量不确定度的评定（二）

EvaluationofMeasuringUncertaintyoftheAutomaticInstrumentforMeasuringLengthGratingsandLineStandardsupto2m(2)RenDongmei;NiuLixin;WangXiaowie;QiAihui;CaoHang上接1998年第18卷第3期第26页3测量光栅尺的合成标准不确定度本仪器测量光栅尺时，采用双干涉光路测量方法，其测长公式为l一（11＋12）／2（18）l。一n。·A／2一人·入／64（i—l，2）（19）式中，l——测量长度；l。——干涉光路i测得的长度值；n。——干涉光路i中干涉条纹的变化数；k。——干涉光路i的计数脉冲数。由仪器的工作原理可知，11、人相关，根据不确…     

透镜-反射镜式测量镜对干涉微位移测量的影响

采用基于透镜-反射镜式逆反射光路的干涉仪进行微位移测量时,被测位移会引起测量光束的波面变化。本文对这种波面变化和其对位移测量结果的影响进行了分析,推导出了波面变化引起的位移测量误差与透镜的焦距/有效孔径之比和位移的近似关系。对合理使用基于透镜-反射镜的逆反射方法,发挥其在干涉微位移测量中的优势,避免其不足,具有指导作用。     

一等环规测量仪的研制

一等环规测量仪是将激光干涉仪测长技术、静态光电显微镜瞄准技术和精密微位移定位技术作为主体测量技术，以上三项技术的有机结合使该仪器的测量不确定度达到了国际法制计量组织(OIML)规定的一等环规的测量要求。     

纳米力学测试系统位移传感器校准装置

介绍了用激光干涉方法对纳米力学测试系统位移传感器进行校准的方法,并建立了校准装置;采用平衡式光学系统设计,干涉系统的抗干扰能力得到了显著提高,通过零位移测量实验对装置的稳定性进行了验证;用校准装置对TriboIndenter纳米力学测试系统的位移传感器进行了校准实验,测量不确定度分析结果表明该系统测量压头位移的准确度可以达到纳米量级。     

移相干涉技术用于运动姿态精密测量

针对测量系统运动中姿态测量的需求,提出了一种利用移相干涉技术测量角度的方法来实现运动姿态的准确测量。建立了由组合式移相干涉仪为主的三轴转角实验装置,该装置测量角度的分辨力优于0.006″。采用实验装置对微位移工作台运动过程中的姿态变化进行了测量,得到了工作台移动中绕三轴转角变化的测量结果,并利用激光小角度干涉仪进行了相关测量点的对比实验,数据最大偏差0.03″。实验结果验证了利用移相干涉测角法可以实现运动中姿态的精确测量。     

两米光栅—线纹自动测量仪测量不确定度的评定(一)

以不确定度的概念对两米光栅—线纹自动测量仪的测量质量、水平进行了评定,给出了该仪器测量光栅尺和线纹尺的不确定度指标。     

用相位偏移干涉法精确测量量块长度

讨论了相位偏移干涉技术的原理、常用的算法和小数重合法的应用。在分析了传统的柯氏干涉仪的量块测量方法基础上 ,提出运用相位偏移干涉法的量块测量法 ,最后给出了量块测量的数据。     

两米光栅—线纹自动测量仪测量不确定定度的评定（一）

以不确定度的概念对两米光栅－线纹自动测量仪的测量质量，水平进行了评定，给出了该仪器测量光栅尺和线纹尺的不确定度指标。     

测量线膨胀系数的光学干涉方法

光学干涉方法在材料线膨胀系数测量中有着广泛的应用,本文对用于线膨胀系数测量的各种干涉仪的工作原理和典型结构进行了分类介绍,对不同干涉系统设计形式的特点进行了分析比较,指出了为提高测量准确度在光学系统设计上应注意的问题。     

基于法布里-珀罗干涉仪的微位移测量方法研究

介绍了一种基于法布里-珀罗干涉仪的微位移测量方法,通过将位移测量转化为频率变化量的测量,实现了亚纳米级测量分辨力。建立了基于法布里-珀罗干涉仪的微位移测量实验装置,完成了320 nm范围内的位移测量,并将测量结果与精密电容传感器的测量结果进行了比较。