一种激光长刻机的工作原理

介绍了一种静态激光长刻机的工作原理,并介绍了该光刻方法的关键技术和工艺.     

一种基于频压变换的超速检测装置设计

设计了一种基于频压变换芯片VFC320的超速检测装置,该装置可将编码器信号的频率线性地转换为电压信号,逻辑电路部分由可编程逻辑器件完成,为安全性要求高的运动控制系统提供了一路冗余保护信号。