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稀释气体流量对低压化学气相沉积硼掺碳涂层的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
以BCl3-C3H6-H2为气相反应体系,采用低压化学气相沉积制备硼掺碳涂层.研究了Ar气稀释流量对硼掺碳涂层沉积速度、形貌、组成和键合状态的影响.结果表明,不同稀释气体流量作用下,硼掺碳的沉积速度没有明显变化,产物形貌由致密向层状转变,硼元素含量稍有减少而碳元素含量稍有增加.沉积产物中B元素的键合方式以B-sub-C和BC2O为主.结合化学反应和气体扩散,探讨了稀释气体的作用机制,表明PyC形成反应的主导作用导致稀释气体流量对沉积速度作用不明显,而BCl3和C3H6在Ar气中扩散系数的差异导致产物形貌和组成发生变化. 相似文献
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乘波体在高空高超声速飞行时,流场温度急剧升高,气体热力学性质发生改变,其气动特性与采用完全气体模型得到的结果存在差异,因此在飞行器设计中开展真实气体效应影响研究具有重要的工程价值。本文针对锥导乘波体设计提出了一种考虑平衡气体效应的特征线方法(Method of characteristic, MOC),基于不同半锥角和不同流动捕获曲线生成了不同外形的乘波体,并使用快速估算方法估算平衡气体条件和完全气体条件下各乘波体的气动特性和几何特征参数,研究了不同气体模型对乘波体设计结果的影响。研究结果表明,高马赫数下基于平衡气体模型设计得到的乘波体升阻比、容积率和俯仰力矩系数等特性参数相比完全气体结果存在差异,并且平衡气体效应对不同外形乘波体的影响程度和影响规律不同。 相似文献
235.
建立了丝杠螺母副的传动误差计算模型,并在此基础上分析了气体静压丝杠的误差均化作用与螺母有效长度、丝杠误差周期的关系,为气体静压丝杠螺母副的设计加工提供了必要的基础。 相似文献
236.
237.
概要具有气体淬火功能的真空热处理炉,最重要的课题是如何提高冷却速度。现就有关影响冷却速度的主要因素及其界限,主要从传热工程学的观点予以简要说明。作为提高冷却速度的手段,除选择冷却气体、增大气体的压力和提高流速外,还有降低冷却气体温度、改善结构和被处理零件的配置等等。对于冷却性能的评价,必须对整个冷却 相似文献
238.
A0535+26和Be星外流气体的结构 总被引:1,自引:0,他引:1
暂现的硬X射线双星系统中,Be星的外流气体结构是一个尚未解决的问题.本文根据Be星的观测和理论,提出了气盘和缓慢加速星风的混合模型,给出了速度结构,计算了X射线光度的变化,解释了A0535+26的许多观测现象. 相似文献
239.
开口圆管气体的非线性振荡研究及雾化应用 总被引:2,自引:0,他引:2
主要研究开口圆管内的非线性振荡,圆管受迫端由一活塞驱动,活塞为小谐波振荡,另一端为完全开口状态。理论和实验均发现存在非线性现象,实验中还发现活塞激振频率和管内气体的固有频率接近时会发生共振,有强烈的非线性效应,同时在管口附近产生强烈的整波效应,发现利用此效应对水流有较好的雾化功能。 相似文献
240.