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451.
在微型设备和宏观尺度的真空环境中,非均匀温度场会引起稀薄气体流动,且浸没在气体中的结构会受到辐射力。文章采用直接模拟蒙特卡罗(DSMC)方法结合Cercignani-Lampis(CL)气?面相互作用模型,研究法向能量调节系数(NEAC)和切向动量调节系数(TMAC)对一对冷热微梁周围稀薄气体流动特性的影响。研究结果表明,流场结构、传热特性、压力分布和辐射力特性对表面调节系数的变化高度敏感——在单独改变冷梁表面调节系数的情况下,辐射力随着NEAC的降低呈近似线性增加,随着TMAC的降低呈非线性减小;在同步改变冷梁和热梁表面调节系数的情况下,辐射力随着TMAC的降低呈非线性增加,随着NEAC的降低呈先减小后增大的趋势。研究结果可作为设计、制造MEMS器件时的选材参考,以获得尽可能大的辐射力。 相似文献
452.
微惯性测量单元(MIMU)是惯性导航系统(INS)的核心组件,亦是构建微定位导航授时(μ-PNT)系统的重要组成部分。当前成熟的微惯性测量单元主要基于微机电系统(MEMS)实现,其性能逐渐难以满足新型无人驾驶车、无人飞行器以及制导弹药、航空航天器等军民用领域对高精确惯性导航的需求。近年来,各种新型微惯性测量技术相继被提出,以期望突破微惯性测量单元的性能与尺寸、质量、功耗(SWaP)之间相互制约的关键技术难题。系统总结了近年来国内外在常规MEMS惯性测量技术以及新型微光机电系统(MOEMS)惯性测量、微腔光力惯性测量、量子精密测量等几类新型惯性测量技术方面的研究进展,展望了未来新型高精度惯性测量技术的发展趋势,并提出了一种基于腔光力系统的量子增强型惯性测量技术构想。 相似文献