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本文介绍了单一芯片上的三敏感轴表面微加工加速度计的技术原理,传感器的设计以及与之相关各单轴加速度计的测量结果。传感器的机械结构由厚为10微米的多晶硅层采用高淀积速率淀积工艺加工而成。实现该传感器的全部制造过程是考虑到与化BICMOS制造过程合二为一的要求。 相似文献
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作为透平机械的关键部件,整体式叶轮广泛应用于航空航天等领域,其加工技术一直是透平制造业中的一个重要课题.从整体式叶轮的几何结构和工艺过程可以看出,加工整体式叶轮时,加工轨迹规划的约束条件比较多,相邻的叶片之间空间较小,加工时极易产生碰撞干涉,自动生成无干涉加工轨迹比较困难.因此,在加工叶轮的过程中不仅要保证叶片表面的加工轨迹,还要满足几何准确性的要求,而且由于叶片厚度的限制,要在实际加工中注意轨迹规划以保证加工的质量. 相似文献
146.
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图一为马绍尔共和国1989年发行的航天探索的里程碑套币中的一枚.钱币背面正中为马绍尔国徽图案,上邵为英文“马绍尔群岛共和国”,左侧为S50,右侧为1989字样,下部为马绍尔土著文字“分割国家岛屿的辽阔海域”. 相似文献
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为优选船艏结构型线方案,在风洞中针对三个在结构型线上仅有细微差别的船艏方案进行表面压力特性对比测试。实验获得了各型线方案模型表面压力空间分布特性和压力脉动特性,并通过表面压力特性的综合对比进行了结构型线评估,为船艏的结构型线设计提供直接的技术依据。 相似文献
150.
锻造LF6法兰阳极化后表面深灰色原因分析 总被引:2,自引:0,他引:2
锻造LF6材料法兰硫酸阳极化后表面产生深灰色物质,影响产品质量和性能。分析认为这种现象与材料、机械加工和表面腐蚀有关,为此设计了一系列工艺验证试验,探寻深灰色物质产生的原因。试验结果表明,锻造LF6材料自身所含有的金属元素、机械加工和生产周期过长是阳极化封闭后零件表面产生深灰色的主要原因。 相似文献