新颖测试手段——电子束微探针

在分析测试芯片中，微探针已使用了ZO余年之久。但近几年来，世界上90％以上的先进半导体公司都配备了电子束微探针装置。预计在未来数年内，电子束技术在半导体行业中将会得到广泛应用。随着芯片几何尺寸的不断缩小，传统的机械式微探针已显得愈益不适应。其原因之一是微探针难以与亚微米线宽的金属层引线可靠接触。另一原因是，芯片中的节点电容已低至5～10fF，微探针产生的信号衰减已超出允许的范围。电子束微探针不存在上述问题。与普通的电子扫描显微镜一样，电子束微探针是用聚焦得颇细的电子来去扫描集成电路的表面，然后采集芯片…     

精密磨削中修整金刚石磨轮的新技术——双电极接触放电修整

本文介绍了一项修整金属结合剂金刚石磨轮的新技术——双电极接触放电修整。论述了修整原理、工艺、效率、质量评价以及应用实例。     

纳秒脉冲等离子体激励器用于圆柱高速流动控制的数值模拟

利用数值模拟,研究了纳秒脉冲介质阻挡放电（NS-DBD）等离子体激励器在圆柱高速流动控制中的应用。首先,研究了单电极NS-DBD等离子体激励器在静止空气中放电后的流场特性。研究表明在介质阻挡放电形成的等离子体区域,有局部能量快速注入,放电结束5 μs后在上极板后端点位置形成了一个局部温度高达900 K的热点,由此引发很强的压力扰动,形成以上极板后端点位置为中心,扩散速度约为声速的半圆形压缩波。在此基础上,通过数值模拟研究了NS-DBD等离子体激励器布置在直径为6 mm的圆柱上,来流马赫数为Ma_∞=4.6时,对圆柱脱体激波的控制作用。研究表明介质阻挡放电形成的半圆形压缩波对于脱体激波有很强的干扰作用,激波距离增加了15.7%,激波强度也有相应的减弱,导致阻力减少了13%。     

MEMS惯性测量组合的整体误差建模与标定

对微机电系统(MEMS)惯性测量组合(MIMU)的主要误差项进行分析,提出一种针对MIMU整体的误差补偿模型,模型囊括MEMS惯性传感器自身的零漂、互耦、标度因数非线性等误差,以及传感器安装误差、系统电路漂移等.根据模型设计整体标定和补偿方法,并用最小二乘法系统求解模型中的69个误差系数,避免单一传感器误差补偿的片面性.针对MEMS传感器明显的温度非线性,利用分段补偿的方法将所研制的MIMU的全温范围分成3段,分别求解各分段误差模型的误差系数进行补偿.经实验论证,该方法能有效地抑制多种误差项对MEMS传感器精度的影响,使MEMS陀螺和加速度计的精度提升1-2个数量级.     

微半球陀螺敏感结构热成型规律研究

针对近年来受到广泛关注的微半球热成型工艺,研究了表面张力、黏性力、惯性力、重力及压差对成型的影响,得出了黏性力在成型过程中起主导作用,表面张力、惯性力及重力对成型的影响可以忽略,压差的变化不影响成型的形状,只影响成型的速度的结论,并通过仿真及实验验证了该结论。     

扑翼飞行器驱动装置的设计

扑翼飞行器是一种新型飞行器,其工作原理及设计技术与传统的固定翼和旋转翼飞行器完全不同。微型扑翼的驱动机构的设计、制作是飞行器设计中的关键环节。为此介绍了一种静电驱动的微扑翼机构,由于这种结构存在着强烈的静电和机械两个物理场的非线性耦合,因此系统的动态特性是非常复杂的。从驱动机构的结构,工作原理,受力模型及分析几个方面对这种驱动机构作了相关的介绍。所得研究结论可以为微型扑翼驱动机构的设计、制作和应用提供一定的理论依据。     

铌微合金化对1Cr21Ni5Ti屈服强度的影响

为了提高1Cr21Ni5Ti双相不锈钢的屈服强度,对其进行了铌微合金化,通过化学分析、金相观察、拉伸试验等,对微合金化前后的性能进行了对比研究。结果表明,经过Nb微合金化处理的1Cr21Ni5Ti屈服强度σ0.2显著提高,达到了技术条件的规定。     

微飞行器技术的最新发展

近年来由于军事发展需要,微飞行器发展迅速。微飞行器实际上是一套可在空中飞行的复杂多功能微机电系统,正日趋微型化。本文扼要介绍了微飞行器技术的最新发展。     

几种MEMS分立式微变形镜的设计与性能比较

采用形状函数法描述变形镜校正时的曲面,从适配误差、Strehl比、加工工艺性三个方面比较了4种不同单元排列方式的微变形镜。结果表明方形排列的微变形镜设计简单,需驱动电压较低,但波前校正性能较差;圆形微变形镜性能最优,但设计复杂,需驱动电压最高。     

电晕放电飘升机研究

基于B-B效应的电飘机是一种不对称电容器在高电压作用下产生推力的飞行器,由于它是一种无推进剂的飞行器而受到科技界的广泛重视。本文通过实验研究,分析电晕放电的特点,提出基于涡旋动力学理论的挠场与真空零点能相干原理来解释推力的产生。对B-B效应的深入研究将对航空航天的推进技术带来革命性的变化。