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381.
快速控制反应镜(以下简称快反镜)是光电精密跟踪系统中必不可少的组成部分,在消费电子、医疗、天文望远镜、激光通信等领域中有着广泛应用。基于硅基微电子机械系统(micro-electromechanical system, MEMS,)工艺制作微型快反镜,对于实现快反镜和跟踪系统的小型化、轻量化有重要意义。陈述了一款硅基快反镜的结构设计、工艺选择以及制作攻关过程。通过加工便利性、加工精度、加工可靠性与制作成本的综合分析比较,确定了MEMS深硅刻蚀工艺制作小型化快反镜可动结构技术思路。快反镜的制作中,通过“化面为线”的版图优化减少刻蚀面积解决了深硅刻蚀不匀问题,通过清洗方法的对比和择优解决了反射镜面表面清洁度问题,通过改变金属化方法解决了镜面的面形精度控制问题。测试结果表明,此款基于硅基MEMS工艺的小型化快反镜满足了设计和应用需求。 相似文献
382.
高速走丝电火花线切割工作介质性能要求研究 总被引:7,自引:0,他引:7
刘志东 《航空精密制造技术》2006,42(6):29-32
系统分析了高速走丝电火花线切割工作介质的主要性能要求,通过使用典型工作介质的切割对比,分析了线切割加工的工艺规律,指出工作介质洗涤能力是影响线切割工艺的最关键因素,对评价工作介质的优劣提出了参考意见。 相似文献
383.
阐述在《模具制造工艺》课程设计中进行教学改革的几项具体措施,重点介绍课程设计指导课的内容编排,对课程设计中的常见错误进行归纳和剖析。 相似文献
384.
385.
为了解决液体火箭发动机主阀阀芯氟塑料与金属黏结不良问题,对其成因与黏结工艺进行研究。采用阀芯压制氟塑料前涂覆自制聚全氟乙丙烯胶黏剂的黏结工艺方法,通过扫描电镜观察黏结面微观结构形貌并进行能谱分析,进而对涂聚全氟乙丙烯胶黏剂的黏结工艺方法进行机理分析,最后开展菌状物试样黏结工艺验证、阀芯工艺验证、工作性能试验验证。试验表明:采用涂聚2遍全氟乙丙烯胶黏剂黏结的工艺方法,可提高氟塑料和金属黏结强度,黏结强度可提高到19 MPa以上,达到未涂胶氟塑料与金属黏结强度的3倍,阀芯黏结合格率达到100%,使用性能满足使用要求,有效解决液体火箭发动机主阀阀芯黏结不良问题。 相似文献
386.
分析了某型号弹用发动机中介机匣的机械加工工艺性,介绍了保证零件加工质量和加工效率的途径,针对加工中存在的变形、测量等几个难点,提出了解决措施。 相似文献
387.
针对钛合金板料在常温下弹性大,成形困难的问题,提出了一种利用用钛合金在高温下具有的超塑性进行超塑成形的工艺方法。介绍了针对钛合金板料(Ti-6Al-4V)进行超塑成形的相关工艺设计,工装设计过程和超塑成形过程中的一些关键工艺参数。 相似文献
388.
389.
390.
聚合物基复合材料制品的脱模工艺分析 总被引:1,自引:0,他引:1
分析了聚合物基复合材料制品脱模工艺过程中应考虑的几点要素,对脱模困难的一些复合材料制品提出了几种较有效的脱模工艺方法。 相似文献