带不锈钢隔膜的硅压阻压力传感器

带不锈钢隔膜的硅压阻压力传感器在航天等许多领域应用很广。它的压力应变膜片是硅应变膜片，其制造工艺是集成电路及微机械加工工艺。将不锈钢隔膜、灌充液及硅应变膜片有机地结合起来，使传感器的精度高、可靠性好、稳定性好及动态性能好，不但用于普通气体及液体的压力测量，还可用于腐蚀性介质的压力测量。文中介绍其工作原理、结构、制造工艺及技术指标最后指出今后研究的工作重点。     

准LIGA技术的研究与发展

介绍近年来准ＬＩＧＡ技术发展的概况，着重讨论国内外对它的各个工艺过程所采取的一些措施及其在微传感器和微执行器中的应用，并简单论述它的发展趋势。     

燃烧室新材料在卫星双组元低推力发动机上的应用

对有代表性、有发展前途的几种新材料进行比较 ,并根据应用新材料的低推力发动机燃烧室的结构特点 ,分析了不同冷却方式对双组元低推力发动机性能损失的影响 ,为双组元低推力发动机燃烧室的材料选择、加工工艺、设计优化提供参考。     

脉冲调制输出的CMOS集成硅气体流量传感器

现已研制成功一种具有脉冲调制输出的单片集成热式气体流量传感器,其输出脉冲宽度比和流速有关。制造这种传感器时,除使用EDP各向异性刻蚀剂制作传感器外形之外,其余均采用标准的CMOS工艺。传感器的加热部分和非加热部分之间用聚酰亚胺隔热。传感器具有内部气体温度补偿装置。在2～30m/s流速范围内,传感器的灵敏度为0.03m/s。按传感器的设计。本传感器也适合于双线式结构形式     

电容层析成像系统传感器敏感特性分析及比较

电容层析成像传感器的敏感场受多相流介质分布的影响，软场特性给图像重建带来很大困难，为了提高重建图像质量，对敏感场分布进行分析是非常必要的。现以8电极油水两相流电容层析成像系统为研究对象，采用有限元仿真的方法，通过用三角形和四边形两种不同剖分形式对电容敏感场的分析和比较、计算机仿真及实验分析，结果表明利用不等间距的剖分形式可以得到较好的仿真结果，具有较高的精度。     

数据融合黑板型专家系统

给出了一种多传感器数据融合和黑板模型推理的专家系统的实现方法。系统以飞机平台为目标，利用多站多个传感器所获得的雷达、通信、敌我识别信息，通过多传感器数据融合和人工智能黑板模型推理，实现对飞机平台的识别和定位。     

一种热释电红外传感器控制芯片的设计

阐述了一种采用0.6μm CMOS工艺的热释电红外传感器控制芯片的设计。该芯片在[4.0 V,6.0V]电源范围内稳定工作,具有较高的电源电压抑制比和较低的温漂,并且作了抗噪声和抗交流电源干扰处理。这种控制芯片用于接收、放大、处理、控制热释电红外传感器信号,应用前景广阔。     

发动机热流传感器的蒸发冷却技术

本文介绍发动机热流传感器的设计和初步试验,描述了蒸发器的结构原理,从理论上并通过试验分析了影响蒸发器效率的某些因素,如:放气阀的预压力,水的充装量和散热头部的结构尺寸。试验表明,所设计的蒸发器达到了预定的性能指标。     

外差干涉型光纤应变传感技术的研究

研究了一种采用高双折射纤模间干涉的应变传感器。传感器利用注入结电流直接调频的半导体激光（ＬＤ）产生外差干涉，从而实现了干涉相位的线性检测。实验结果显示干涉相位的分辨力为一个干涉条纹的２．５％，其相应的光纤应变是３６×１０－６ｍ。     

智能传感器—微机在惯性器件中的运用

本文论述了采用我校研制的SCE-48单片机开发装置,开发MCS-48系列单片机,使之与加速度计相结合,并研究提高微重力加速度计性能的具体方法。对加速度计的数学误差模型进行了测定,试验分析表明,加速度计与单片机组合后,其精度、零偏和非线性等均有明显改善。本文的研究方法也可推广到陀螺仪和其它传感器。