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分析微型热敏传感器测量原理并针对其典型器件结构的热平衡模型,提出以微型热敏传感器器件各部分热耗散功率和器件信噪比系数为主要器件结构设计的结构仿真计算目标。然后,结合微型热敏传感器衬底空腔结构对器件性能影响较大的特点,分析计算衬底结构没有空腔、有空气腔和有真空腔3种情况下的器件各部分热耗散功率,验证了有真空腔的衬底结构信噪比系数最高。最后,以实际微细加工工艺条件为基础,计算分析衬底真空腔深度在2 μm,4 μm和6 μm 3种条件下的器件信噪比系数,完成对微型热敏传感器器件结构尺寸的优化设计。 相似文献
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对挤压态 Mg -8Er 合金在再结晶热处理过程中组织、织构的演变以及相应的力学行为进行了系统表征,在此基础上分析了塑性变形机理。结果表明,挤压态 Mg -8Er 合金在500℃条件下退火时,随着保温时间的延长,再结晶组织的逐渐形成,织构出现明显的随机化,织构强度也显著弱化,合金的室温塑性也随之提高。热处理态 Mg -8Er 合金的塑性大小主要取决于再结晶程度的大小。再结晶程度高的合金织构也更加随机化,从而获得高塑性。 相似文献
267.
压电类智能梁元的优化布局 总被引:2,自引:0,他引:2
分别对具有无限小长度驱动器的悬臂和简支智能梁的一阶模态和二阶模态进行了具体的分析和计算,确定了驱动器在梁元中的最优布局,总结了有关驱动器在梁元中布局的一些基本性质,并从解析的角度对驱动器的最优布局点给予解释.由于以上有关驱动器最优布局的分析是在忽略驱动器的长度的假设基础上进行的,所以又对有限长度的驱动器的布局问题进行了初步的探讨. 相似文献
268.
提出了结构缺陷敏感区域的概念。借助结构缺陷稳定分析的改进随机缺陷法,研究了单层网壳结构的缺陷敏感区域。通过50m跨度的K6型凯威特网壳算例,得出它的缺陷敏感区域由前12类结点组成。并发现支座结点缺陷对K6型凯威特单层网壳结构影响不大;而主肋上结点与次肋上结点的缺陷对K6型网壳的影响相似,均会使其临界荷载下降很多。结果证明该方法可定量和准确地分析结构的缺陷敏感区域。 相似文献
269.
270.