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表面平整化技术是半导体工业的关键技术,在一定程度上制约着半导体芯片集成技术的发展,针对多层立体布线的IC全局平坦化技术,介绍了代表当今平整化技术及其未来的发展方向,其中一些技术会取代传统的CMP技术而成为IC产业的主导技术之一;叙述了超大规模集成电路(ULSI)的发展对全局平整化的具体要求;对传统的CMP技术的特点进行了分析;并论述了当今主流的IC平整化技术的原理、性能以及未来的发展方向。 相似文献
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为了研究多重纳米结构对块体材料强化和变形能力的影响机制,采用粉末冶金法制备了多重纳米结构的B4C颗粒增强铝基复合材料,并对复合材料的强化和形变破坏机制进行了定量和定性的讨论。由100%球磨复合粉末制备的块体复合材料的室温压缩强度为670MPa;当加入10vol%气雾化态的Al2024粉末后,复合材料的室温压缩强度升高到1.115GPa;之后随着气雾化态Al2024粉末含量的增加,复合材料的强度逐渐下降,但是没有产生明显的塑性变形;当气雾化态Al2024粉末的含量增加到50vol%时,复合材料的压缩强度下降到580MPa,断裂前变形率达到了10%。扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)的分析结果显示,亚微米级的B4C颗粒、位错以及纳米晶基体分别通过Orowan强化、位错强化和细晶强化机制对复合材料进行强化;粗晶Al2024区域与复合结构区域的比例显著影响复合材料的形变及破坏机制。 相似文献
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植物纤维水泥复合材料复合机理 总被引:6,自引:0,他引:6
一年生植物纤维水泥复合材料是一种具有广阔应用前景的新型复合材料。它是以一年生植物──农作物秸杆(碎料)为增强纤维,水泥为基体(并起粘结剂作用),经特定工艺成型的复合材料。本文从复合材料力学的观点出发,对这种复合材料的复合机理,包括其增强相、基体相、界面相及其复合效果等方面进行了研究。结果表明:在添加剂的成功使用下,一年生植物纤维和水泥取得了良好的界面复合效果,其主要力学性能已达到或超过了与之相似的木质水泥刨花板。 相似文献
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针对支线飞机机械操纵系统的特点,设计了由模块化的功能单元组成的综合飞行仿真平台,可以实现机械操纵系统数字仿真,在支线飞机的设计与制造中有着重要的应用价值,此平台通过改进还可用于支线飞机的试飞科目训练,从而降低试飞风险并缩短研制周期。 相似文献