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本文介绍一种芯片上带有信号调节功能的硅压力传感器。制作时,在标准的3μmCMDS工艺过程中加入了微机械加工工艺,利用带电化学阻蚀剂的各向异性腐蚀技术,在(100)取向硅片上进行腐蚀。控制膜片厚度,使厚度容差小于0.5μm。在同一膜片上,集成了完整的CMDS测量电路。带压阻元件的惠氏电桥的输出信号由一个仪器放大器放大。该放大器的放大率和温度有关,以便补偿灵敏度随温度的变化。另外,灵敏度本身的变化、偏置和偏置随温度的变化亦予以补偿。芯片还具备微调功能,以便在-40~+125℃范围内对所述各参数进行调节。 相似文献
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俄罗斯Келдыш中心和能源火箭公司、莫斯科国立技术大学及乌克兰航空学院共同研究出适用于高放热航天器的双相热调节系统,该系统具有较大的质量和较高的动力效率. 相似文献
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增压连续式跨声速风洞防喘振措施——旁路调节的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
压缩机的设计与制造性能尚不能充分适应风洞的运行范围,安全、可靠的防喘振措施是保证风洞安全运行的重要条件之一。作者讨论了旁路调节作为风洞中防喘振措施的可行性。在考虑跨声速风洞中气体压缩性的基础上,给出了风洞中旁路调节的估算方法,分析和讨论了旁路对风洞性能的影响。结果表明:旁路的增加,使风洞工作点向大流量、低压缩比方向移动,达到有效、可靠防喘振的目的。 相似文献