La2O3对水玻璃型壳性能影响的研究

在水玻璃石英壳涂料中加入稀土氧化物Ｌａ２Ｏ３，研究Ｌａ２Ｏ３对壳型性能的影响。研究结果表明，Ｌａ２Ｏ３能显著提高型壳的高温强度，减挠度。壳型的残留强度提高较小，担对型壳的透气性影响不大。     

钽钨合金表面铱涂层的制备及高温氧化性能

利用真空电弧离子沉积技术在钽钨合金表面沉积均匀致密的铱涂层,研究了钽钨合金/铱涂层的抗高温氧化性能和热震性能。结果表明:在800℃和1 100℃条件下,铱涂层可以有效保护钽钨合金,经过20 h后,铱涂层表面只发生轻微氧化,其表面形成褐色氧化铱产物;在1 900℃条件下,抗氧化寿命达10 h以上;在室温至(1 900±50)℃热震条件下,其寿命可达到1 000次以上。     

星用微波集成电路TaN薄膜电阻的功率耐受值研究

氮化钽(tantalum nitride, TaN)薄膜电阻电路是星载放大器、功分器等典型产品中必不可少的组成部分。在较大功率信号施加的条件下,TaN埋嵌电阻部位热效应较强,出现电路失效或烧毁的可能性也较其他部位大。星载微波单机应用环境条件恶劣,对于薄膜电阻的应用可靠性要求极高,常规侧重高温工况,热处理等条件下的氮化钽电阻功率耐受性研究无法得到实际星载应用工况中氮化钽电阻的功率特性,势必需要通过模拟实际应用工况和边界条件,通过设计制作氧化铝基板上不同尺寸TaN薄膜电阻样件,测量在施加不同电流的工况下电阻表面和电阻电极的温度,并根据电阻表面最大允许温升对应的电流,计算出可耐受的最大功率,完成了TaN薄膜电阻的功率耐受性研究。研究结果表明,在基板厚度一定时,随着电阻面积增大,薄膜电阻耐受功率呈增大趋势;较大尺寸薄膜电阻的功率耐受随着基板厚度的增加而降低。此研究结果对后续优化星用微波电路设计,提高宇航微波产品应用可靠性,减少不必要的设计冗余,有重要意义。     

铜互连扩散阻挡层工艺优化

针对金属线间击穿电压小、可靠性差的问题,对铜扩散阻挡层（包括钽阻挡层厚度和氮化硅阻挡层薄膜质量）进行研究优化。使用自对准双重图形（SADP）方法能够使金属互连线的特征尺寸缩小,使得互连线扩散阻挡层的厚度期望降低。通过制备不同厚度的钽阻挡层对金属互连体系电阻和击穿电压做详细对比分析,发现硬质的钽金属对化学机械研磨（CMP）产生影响,导致互连体系电阻和击穿电压随着钽阻挡层厚度减小而增加,过薄的阻挡层会导致阻挡性能降低、整体晶圆均一性变差;铜线界面上存在的氧元素极大地降低了氮化硅的黏附性,影响阻挡层性能。在氨气预处理阶段通入不同流量的氨气,在预沉积阶段改变预沉积时间,增加过渡阶段,通过实验分析氮化硅的黏附性,结果证明:氨气流量的增加、预沉积时间的减少、过渡阶段的增加能提高氮化硅的黏附性,改善了薄膜阻挡能力。      

粉末烧结Nd15Fe77B8永磁合金的矫顽力特征

通过测量粉末烧结Ｎｄ１５Ｆ３７７Ｂ８永磁合金的充磁和退磁曲线，结合金相组织及磁畴观察分析，证明该合金的矫顽力是由畴壁的钉扎来控制。     

钽的氮离子注入法研究

实验研究证实，通过氮离子注入的方法对钽基材进行表面强化，可大大提高钽村的表层硬度及耐蚀性能。俄歇电子能谱及Ｘ射线衍射分析表明，Ｔａ注入Ｎ＋后生成了新相ＴａＮｏ．１。     

EFFECTS OF MISCHMETAL ADDITION ON THE CAST MICROSTRUCTURE OF 6063 ALLOYS

采用光镜，电镜，阳极复膜等手段研究了稀土对６０６３合金铸态组织的影响。结果表明，稀土细化枝晶组织有一临界含量，这个临界含量约为０．１５％ＲＥ。当稀土含量大于０．１５％时，稀土才会减小二次枝晶间距并细化共晶组织。而稀土细化晶粒在低含量时最为明显。从铸态组织考虑，６０６３合金中加入０．２０％ＲＥ为宜。     

高空飞艇螺旋桨驱动电机分析

高空飞艇的一些概念设计中采用电动机驱动螺旋桨的电推进系统,对该系统中电 动机的关键技术进行分析,为高空飞艇螺旋桨驱动电机的研制提供参考。针对高空飞艇的电 源和不同电动机的特点,分析了螺旋桨驱动电机应首选稀土永磁无刷直流电动机。根据高空 飞艇对螺旋桨的推力要求,分析了满足螺旋桨驱动需求的驱动电机的额定参数确定。结合高 空环境的特点,从材料选择、轴承润滑和电机温升等方面对驱动电动机的高空适应性设计进 行了探讨。稀土永磁无刷直流电动机驱动螺旋桨的地面试验表明所设计的电动机样机具有高 效率,能够满足螺旋桨驱动需求。