大高宽比阶梯型铜微柱阵列的制作

基于THB–151N光刻胶的微电铸工艺制作了一种阶梯型铜微柱阵列。针对THB–151N光刻胶显影过程中20μm微盲孔显影困难和底部留膜的问题,提出了一种基于浸没式双向兆声波辅助的显影方法。仿真研究了兆声功率密度和微盲孔深宽比对显影液传质过程的影响。优选了兆声功率密度和微盲孔深宽比,并开展了兆声辅助显影的试验研究。同时,针对THB–151N胶膜因曝光剂量选择不当导致微盲孔侧壁垂直度差的问题,通过光刻试验分析了曝光剂量对微盲孔侧壁垂直度的影响,拟合出曝光剂量与胶膜厚度的经验方程。在上述工艺方法和试验研究的基础上,制作出高度300μm、整体高宽比达15∶1、最小边长20μm、4×6的阶梯型铜微柱阵列。     

屏蔽阳极模板随动式微细电铸的定域性研究

屏蔽阳极模板随动式微细电铸技术是一种新颖的金属微结构加工方法,具有工艺简单、成本低以及高深宽比微结构加工能力的优点。电沉积定域性是影响其复制精度和分辨率的核心因素。对电沉积定域性进行了理论分析和实验研究,结果表明:极间距对定域性的影响较大,杂散沉积宽度随着极间距线性增大;而在极间距一定时,极间电压(即电沉积电流密度)、屏蔽胶膜厚度及微槽特征宽度不影响电沉积的定域性。     

一种新的电铸阳极轮廓设计方法

 拉瓦尔喷管的电铸层有一定的均匀性要求.在电铸过程中,电铸阳极的轮廓和位置决定了阴极表面电流密度的分布,并最终影响电铸层的均匀性.为此,设计了一种新的阳极轮廓优化方法,在进行阳极轮廓优化设计时,只需在编制的优化程序中输入阴极轮廓,通过ANSYS软件进行电场分析,程序根据阴极上不同位置电场强度的强弱,自动逐步调整对应点的阳极轮廓,以改善阴极表面的电流密度分布均匀性,即可得到优化后的阳极轮廓.采用该优化方法,可以快速得到所需的阳极轮廓,且通用性强.对某型喷管外壁进行阳极轮廓优化设计后,制得了厚度最大处与最小处比值为1.26的电铸镍层.     

基于ANSYS分析的电铸阳极设计

电铸阳极的形状和位置决定了阴极表面电流密度的分布,并最终影响金属沉积层分布的均匀性及 其材料性能。本文基于有限元软件ANSYS对电铸阳极的形状进行优化设计,并用实例进行验证,效果良好。     

扭叶片整体涡轮电火花成形加工技术

论述了扭叶片整体涡轮的结构特点、加工现状以及其几何造型方法。提出了基于电铸工艺来制造低损耗成形工具电极,由电火花成形加工方法加工整体涡轮弯扭叶片的高效、低成本组合工艺。根据整体涡轮叶间通道的特点以及工艺要求,研究了成形电极的运动轨迹和位姿确定。     

浮雕型彩虹全息图金属模复制法的研究

利用一步成像法拍摄浮雕型彩虹全息图母版,重点讨论了将其转印到硬质基低材料金属镍模上的复制工艺。     

脉冲电铸镍锰合金及其微观组织结构分析

利用冲液装置和高频窄脉宽脉冲电流,开展了镍锰合金的脉冲电铸试验。采用扫描电镜、透射电镜 及x射线衍射法对电铸层的沉积表面形貌、晶粒大小、相结构和结晶取向进行了测试与分析。     

电铸镍构件力－磁特性的试验研究

报道了用ＣＣＹ－８４型双探头磁应力仪及自行设计研制的自平衡型单探头磁应力仪对电铸镍的力－磁持性进行的部分基础性研究工作。研究结果表明：电铸镍具有显明的“拉磁效应”和高的力－磁特性强度，为电铸镍构件残余应力的磁性法无损检测时拉、压应力符号的正确判定提供了理论依据，并为进一步提高电铸镍构件（尤其是焊接构件）中残余应力无损检测的区域分辨率的可行性论证工作提供了重要的试验依据。     

毫米波导器件电铸技术

以波纹喇叭为例，介绍了毫米波导器件采用脉冲电铸方法获得了由一般机加方法无法获得的内形复杂产品零件，并应用此技术解决了毫米波导器件难以加工和焊接变形的问题。