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介绍用脉冲电子束烧蚀法在不同温度的单晶硅 (1 1 0 )衬底上沉积铌酸锂铁电薄膜 ,以及用脉冲电子束进行薄膜晶化处理的实验结果 ;使用扫描电子显微镜 (SEM)、X射线衍射 (XRD)、光电子能谱 (XPS)等方法 ,对薄膜的成份、晶体结构及表面形貌进行分析测试。采用表面轮廓仪测定 LN薄膜的膜厚分布均匀性等。文中探讨了靶材料烧蚀和沉积过程中出现的诸多现象。研究表明 ,这种薄膜制备方法有许多独特之处 ,随着该项技术的不断改进和发展 ,将为光电集成电路提供一种新工艺和新技术 相似文献
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1420铝锂合金电子束焊接接头力学性能 总被引:1,自引:0,他引:1
主要介绍了1420铝锂合金电子束焊接接头的拉伸性能,并分析了焊接接头的断裂行为以及不同的热处理状态对其性能的影响。 相似文献
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以德国IGM公司和荚国CVE公司的真空电子束焊机为例,介绍了真空电子束焊机的工作原理。通过利用该系统的报警信息、控制系统的状态诊断和PLCS5的在线诊断等方法,对此类设备在公司军品科研生产中出现典型故障进行维修与排除。 相似文献